其中CGE是栅极-发射极电容、CCE是集电极-发射极电容、CGC是栅极-集电极电容或称米勒电容(MillerCapacitor)。门极输入电容Cies由CGE和CGC来表示,它是计算IGBT驱动器电路所需输出功率的关键参数。该电容几乎不受温度影响,但与IGBT集电极-发射极电压VCE的电压有密切联系。在IGBT数据手册中给出的电容Cies的值,在实际电路应用中不是一个特别有用的参数,因为它是通过电桥测得的,在测量电路中,加在集电极上C的电压一般只有25V(有些厂家为10V),在这种测量条件下,所测得的结电容要比VCE=600V时要大一些(如图2)。由于门极的测量电压太低(VGE=0V)而不是门极的门槛电压,在实际开关中存在的米勒效应(Miller效应)在测量中也没有被包括在内,在实际使用中的门极电容Cin值要比IGBT数据手册中给出的电容Cies值大很多。因此,在IGBT数据手册中给出的电容Cies值在实际应用中**只能作为一个参考值使用。赞赏共11人赞赏本站是提供个人知识管理的网络存储空间,所有内容均由用户发布,不**本站观点。如发现有害或侵权内容,请点击这里或拨打24小时举报电话:与我们联系。转藏到我的图书馆献花(0)+1分享:微信QQ空间QQ好友新浪微博推荐给朋友来自:王利刚QWE>。
1979年,MOS栅功率开关器件作为IGBT概念的先驱即已被介绍到世间。这种器件表现为一个类晶闸管的结构(P-N-P-N四层组成),其特点是通过强碱湿法刻蚀工艺形成了V形槽栅。80年代初期,用于功率MOSFET制造技术的DMOS(双扩散形成的金属-氧化物-半导体)工艺被采用到IGBT中来。[2]在那个时候,硅芯片的结构是一种较厚的NPT(非穿通)型设计。后来,通过采用PT(穿通)型结构的方法得到了在参数折衷方面的一个***改进,这是随着硅片上外延的技术进步,以及采用对应给定阻断电压所设计的n+缓冲层而进展的[3]。几年当中,这种在采用PT设计的外延片上制备的DMOS平面栅结构,其设计规则从5微米先进到3微米。90年代中期,沟槽栅结构又返回到一种新概念的IGBT,它是采用从大规模集成(LSI)工艺借鉴来的硅干法刻蚀技术实现的新刻蚀工艺,但仍然是穿通(PT)型芯片结构。[4]在这种沟槽结构中,实现了在通态电压和关断时间之间折衷的更重要的改进。硅芯片的重直结构也得到了急剧的转变,先是采用非穿通(NPT)结构,继而变化成弱穿通(LPT)结构,这就使安全工作区(SOA)得到同表面栅结构演变类似的改善。这次从穿通(PT)型技术先进到非穿通(NPT)型技术,是**基本的,也是很重大的概念变化。这就是:穿通。
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